均一性(Homogeneity):半导体制造中最重要的'隐形'指标
同一个东西,在任何一个地方取样,性质都一样。为什么半导体对均一性要求极高?3σ 标准、工艺窗口、良率的关系。
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同一个东西,在任何一个地方取样,性质都一样。为什么半导体对均一性要求极高?3σ 标准、工艺窗口、良率的关系。